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Three Function Mercury Probe, 200mm,

P/N: 802B-200,三功能汞探针

MDC CSM/Win-4980AL2911B CV/IV测量系统

MDC汞探针可通过探测汞与晶圆片接触形成的区域快速、方便和无损地测量半导体样品。MDC汞探针可以连接到C-V表头、电化半导体测量系统、IV曲线测量或用于其他掺杂测量仪。汞探针消除了耗时的金属化工作,使其成为半导体工艺过程监测应用的理想工具。MDC汞探针的精确性和重现性使它们对研发应用具有吸引力。

MDC汞探针与同心点和环形汞电极以及背面接触的半导体晶片接触。这种接触安排大大提高了这一过程监测工具的通用性,将汞探针技术引入到新的测量应用中。

氧化样品:汞作为栅极触点形成氧化汞硅MOS器件,用于室温C-V图或I-V测试。使用适当的仪器,这些图可以分析许多氧化物和衬底参数,如介电常数,平坦带电压,阈值电压,界面陷阱密度,衬底掺杂,氧化物完整性,和低剂量离子注入掺杂剖面。


三种模式:

1. 前-后接触
2. 双触点
3. 前后接触与保护环
很少或根本不需要样品准备。
用于半导体和绝缘体。
单控制臂操作。
独特的清洗控制确保清洁水银总是与晶片接触。
水银是是真空驱动,确保安全使用,。
铸造铝基材料确保质量可靠。
具有完整的真空泵,电缆,控制箱与真空调节器,和一个全面的操作手册。
选择遮光罩可进行光敏测量

技术参数

CSM/Win-4980AL2911B C-V/
I-V Measurement System半导体CV/IV测量系统
Advanced Semiconductor Measurement System,P/N:CSM/Win-4980AL
采用高精度Keysight (Agilent) E4980AL LCR 仪表,无内部偏移
Frequency range is 100 Hz to 1 MHz. 频率范围
Win10 系统CSM/Win C-V measurement software including
C-V plotting, N-W profiling, MOS and PN junction measurement programs, and HEMT analysis program.CSM/Win C-V
测量专用软件,含C-V 曲线、掺杂剖面N-W,MOS 和PN 结测量,HEMT 结构分析等。
Variable frequency measurement programs. 可变频率
On-line Help utility and Setup utility,在线帮助工具
Multiplexer Current-Voltage Option, 100V, P/N:IV-2911-MX
100V 电流-电压多路转换器
配置Keithley 2911 及软件实现两端I-V 和GOI 测量,便于对MOS 和结型器件施加正偏和反偏电压进行分析,以及采用不同方法进行氧化层完整性分析。
a) TZBD (Ramped Voltage)
b) PVBD (Pulsed Voltage)
c) Qbd (Forced Current)
d) JT (Stepped Current)
e) TDDV (Constant Voltage)
Voltage Range: ±100 V, 10 mV resolution,电压范围
Current Range: ±100 mA , 1 pA resolution,电流范围
Includes a multiplexer to switch between CV and IV modes under computer control,电脑控制切换CV 和IV测量模式


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