Three Function Mercury Probe, 200mm,
P/N: 802B-200,三功能汞探针
MDC汞探针可通过探测汞与晶圆片接触形成的区域快速、方便和无损地测量半导体样品。MDC汞探针可以连接到C-V表头、电化半导体测量系统、IV曲线测量或用于其他掺杂测量仪。汞探针消除了耗时的金属化工作,使其成为半导体工艺过程监测应用的理想工具。MDC汞探针的精确性和重现性使它们对研发应用具有吸引力。
MDC汞探针与同心点和环形汞电极以及背面接触的半导体晶片接触。这种接触安排大大提高了这一过程监测工具的通用性,将汞探针技术引入到新的测量应用中。
氧化样品:汞作为栅极触点形成氧化汞硅MOS器件,用于室温C-V图或I-V测试。使用适当的仪器,这些图可以分析许多氧化物和衬底参数,如介电常数,平坦带电压,阈值电压,界面陷阱密度,衬底掺杂,氧化物完整性,和低剂量离子注入掺杂剖面。
三种模式:
1. 前-后接触
2. 双触点
3. 前后接触与保护环
•很少或根本不需要样品准备。
•用于半导体和绝缘体。
•单控制臂操作。
•独特的清洗控制确保清洁水银总是与晶片接触。
•水银是是真空驱动,确保安全使用,。
•铸造铝基材料确保质量可靠。
•具有完整的真空泵,电缆,控制箱与真空调节器,和一个全面的操作手册。
•选择遮光罩可进行光敏测量