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Model 1610E100系列

美国Lehighton Electronics(LEI)生产,配置高磁场的电磁铁,系统软件先进(多达 3种不同迁移率的载流子的分析),可分析多层结构的材料,合适小批量生产和研究机构。



主要用途:
LEI-1600系列迁移率测量系统是半导体生产工艺控制、产品质量监测和提高产品良率的非接触、无损检测设备,常应用于测量各种化合物半导体材料的迁移率、载流子浓度、方块电阻等重要特性。样品包括GaAs (pHEMT, HEMT, HBT),GaN(HEMT,LED),SiC,SiGe,InP,Si等复杂的外延结构。


主要优点:
采用非接触、无损测量,与传统的Van derPauw Hall测量方法比有以下优点:
1)无需对测量样品进行切割和复杂的接触电极制作,不破坏昂贵的样品,节约材料和人工成本;
2)可以直接对大致8”样品实现快速测量,无须考虑非良好欧姆接触带来的测量误差问题,确保测量重复性,提高生产率;
3)方便输出测量数据,能够得到迁移率、面密度、电阻率的三维或二维等高图(图形功能为选项)


主要指标:
样品尺寸:2”to 8”wafers可选择遮光罩

技术参数

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