2.1化学清洗工作台 2.2电镀台 2.3金刚刀解理划片机 2.4晶园扩张器 2.5快速退火炉(RTP)——UniTemp 2.6焊锡回流炉 2.7球、锲形键合台 2.10快速退火炉(RTP)、RTCVD——AnnealSys 2.13等离子清洗、加热系统 2.15贴片机 2.16手动划片、裂片器 2.17自动die输送、分拣系统 2.18半自动die输送系统 2.19高效合金炉 NEW
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