3.1 变温微探针台
Variable Temperature Micro-probe Station

美国MMR公司(MMR Technology)

MMR公司的产品均围绕着专利的小Joule-Thomson制冷器(冰箱)

发展起来。其最大特点包括∶

  • 快速制冷及升温
  • 样品无结霜
  • 几乎无震动
2探针系统 3探针系统 4探针系统
型号 型号 型号
80K——580K K20P2-3 K20P3-3 K20P4-3
70K——580K K20P2-4 K20P3-4 K20P4-4
80K——730K K20P2-5 K20P3-5 K20P4-5
70K——730K K20P2-6 K20P3-6 K20P4-6

主要参数指标∶

温度稳定性∶± 0.05K;温度精确度∶± 0.5K;

温度精度读数∶0.01K;微针步进精度∶50μm;

样品尺寸∶25mm X 25mm。

变温微探针台 主要技术指标
探针数:1至7根,任意配置 温度范围:70K到730K(J-T制冷模 ,10K到730K(采用液氦制冷模式)
温度稳定:<=± 0.05K 温度准确性:<= 0.5K
温度分辨率:0.01K 冷却能力:使用高压氮气(N2)可达250mW在85K处
使用高压氩气(Ar)可达500mW在90K处
样品台尺寸:10mm×14mm 探针移动:前后方向25mm 左右方向25mm 上下方向6mm
探针定位精度:<=±50微米  探针电气连接:通过密封SMA接头连接,对地漏电流<1pA
  仅对4探针系统可以配三轴同心接头(tri-axial)

3.2 变温霍尔(Hall)测量系统
Variable Temperature Hall Measuring Systems

美国MMR公司(MMR Technology)

型号 M25-K25 M50-K25 M75-K25
温度(K) 70 ~ 730 70 ~ 730 70 ~ 730
升降温速率(K/min) <20 <20 <20
磁场强度(Gauss) 5000 (fixed) ± 3500 (variable) ± 14000 (variable)
电阻率(Ω•cm) 10-4 ~ 1013 10-4 ~ 1013 10-6 ~ 1013
电阻(Ω) 10-2 ~ 1010 10-2 ~ 1010 10-2 ~ 1010
迁移率(cm2/v•sec) >1.5 ~ 107 >3.5 ~ 107 >2 x 10-2
载流子浓度(cm-3) 103 ~ 1.5x1019 103 ~ 1.0x1019 102 ~ 3 x 1022
变温霍尔(Hall)测量系统

3.3 变温热电效应(Seebeck Effect)测量系统
Variable Temperature Seebeck Effect Measuring Systems

美国MMR公司(MMR Technology)

温度范围 70K~580K ,70K~730K ,RT~730K
温度精确 <1.5 K
温度稳定性 < 0.1 K
降温速率 可以自然降温也可以通气降温,从730K降至室温一般不超过20分钟
最大制冷能力 250 mW at 85 K
升温速率 < 20K/min
最大加热功率 12W
样品台尺寸 14 mm X 10 mm
样品长度 2 mm ~ 10 mm
最大热电势 ±3 mV
测量装置分辨率 50 nV
测试频道增益不匹配程度 <0.1%
真空 10 mTorr, or better.
变温热电

3.4 各种变温及高低温样品台
Some Kinds of Variable Temperature Sample Station

美国MMR公司(MMR Technology)

样品台

K-77简易温控器,常可以作为K-20的替代。

样品台

U-系列样品架,用于各类光学及电学研究,如Raman,荧光,相变观察等。

样品台

X-射线衍射样品室,含Be透射窗口。

3.5 粘片膜,粘片机,清洗液 及箍
Adhesive Tape Film,Die Bonder,Cleaning Fluid

美国戴拿特公司(Dynatex International)

粘片膜 (无气泡、非常平整、可完全替代有毒的蜡)

三种厚度 0.80+/_0.20mil
1.35+/_0.15mil
3.00+/_0.2mil(2.00+/_0.20mil melted)
三种类型 标准
导电
高温
两种熔点/工作温度 98℃/100-120℃
115℃/120-140℃

美国戴拿特公司提供特别清洗液"StripAid",可以去除粘膜,清洗步骤如下:

 

3.6 晶圆切割润滑剂
Wafer Cutting Lubricant

美国戴拿特公司(Dynatex International)

物理特性
特征重力度@25℃ 0.99-1.05
溶解度@25℃与水 100(%重量)
粘度@20℃,cst 5.43
着火点℃ 不燃
蒸气压@25℃,mmHg 23.8
挥发性(EPA方法之24)%重量 不挥发
表面张力@25℃,mN/m 31-36
颜色 淡粉红色
气味 温和
PH值 7.0

3.7 电镀化学药品
Electroplating Chemicals

美国铁尼公司(Technic Inc)

铁尼公司提供多种军品级电镀液及相关金属盐,并提供专业分析服务及分析仪器。下面只列出部分产品,欢迎与本公司联系。

TG-25ES镀金液

ACR-434镀金液

ECF-61/63镀金液

Cyless L-II镀银液

Nicle-S镀镍液

PC2300/3300镀铜液

pH=6.8中性亚硫酸基液,致密细颗粒软金

氰基液,软金

硫酸基液,微硬金

无氰,"bump"应用

硫基,低应力

应用:bump, post, 厚层等

3.8 直流/脉冲电源
DC/Pulse Power

美国迪拿团公司(Dynatronix Inc)

直流、正向脉冲、正反向脉冲专业电镀电源

该软件可以将一组迪拿团公司的各类电源整合,统一管理。