1.1非接触非损伤方块电阻测量仪 1.2非接触迁移率测量系统 1.3汞探针及载流子浓度分布测量仪 1.4汞探针电容/电流－电压(CV、IV) 1.5四探针方块电阻测量仪... 1.6光学线宽测量 1.7椭偏谱仪(SpecEl-2000) 1.8膜厚仪(反射谱仪NanoCal... 1.9等离子体谱线分析仪 1.10自动/半自动探针台、晶体管测试 1.11自动/半自动LED测试系统 1.12多功能HAWK-1000拉力剪切力测试 1.13手持笔形HAWK-100拉力剪切力测试 1.14便携式真空检漏仪 1.15颗粒碰撞噪声测试仪(PIND 4511)我 1.16薄膜应力&弯曲测试仪(FSM)
2.1化学清洗工作台 2.2电镀台 2.3金刚刀解理划片机 2.4晶园扩张器 2.5快速退火炉(RTP)——UniTemp 2.6焊锡回流炉 2.7球、锲形键合台 2.10快速退火炉(RTP)、RTCVD——AnnealSys 2.13等离子清洗、加热系统 2.15贴片机 2.16手动划片、裂片器 2.17自动die输送、分拣系统 2.18半自动die输送系统 2.19高效合金炉 NEW
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